Procédés délaboration et caractérisation des couches minces

Code Stage : MS14

Tarifs

2350 € HT

Nombre d'heures

35

 [legende-image]1295877051723[/legende-image]Stage de cinq jours organisé par la Société Française du Vide (SFV).


Responsable

Isabelle MABILLE, Maître de Conférences à Chimie Paristech.

Publics et conditions d'accès

Techniciens, ingénieurs ou chercheurs.

Objectifs

Utiliser les différentes techniques d’élaboration des couches minces.

Programme

  • Préparation de surface, un exemple particulier : les supports souples.
 
  • Evaporation de films minces : principe, configurations géométriques source échantillon, application au milieu industriel (cours et TP)
 
  • Pulvérisation cathodique : principe des différentes variantes (diode, triode, magnétron, RF et continu), pulvérisation réactive, configuration géométrique, exemples dans le milieu industriel (cours et TP).
 
  • Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) : principe de la technique, les différentes variantes, applications dans le milieu industriel (cours etTP).
 
  • Contraintes mécaniques et adhérence de film sur une surface : définition des paramètres mécaniques des films, influence du mode de croissance sur la contrainte et l'adhérence, description des outils de diagnostics.
 
  • Fonctionnalisation des surfaces par plasma - Traitement de surface - Greffage - Ablation - Hydrophilie - Hydrophobie - Adhésion - Vieillissement.
 
  • Dépôt couche mince - Dépôt basse pression - Dépôt pression atmosphérique - Hydrophilie - Couches barrière - Couches hydrophobes - Couches minces pour l'optique. (Cours et TP)

Complément lieu

SFV - CHIMIE PARISTECH et IEF Orsay

Session(s)

du 12 juin 2017 au 16 juin 2017